氣體質(zhì)量流量控制器，簡(jiǎn)稱MFC（Mass Flow Controller的縮寫），常用做工業(yè)生產(chǎn)、測(cè)試分析、科學(xué)實(shí)驗(yàn)等過程中的精準(zhǔn)控氣裝置。從技術(shù)路線來講，主流氣體質(zhì)量流量控制器有熱式和層流壓差兩種。氣體質(zhì)量流量控制器怎么選型，主要基于工況、性能等因素。

1、介質(zhì)，需要測(cè)控的氣體。氣體質(zhì)量流量控制器通常可測(cè)控的氣體為干凈、單一的純凈氣體（如氮?dú)狻⒀鯕狻⒖諝獾龋┗蚧旌蠚怏w。目前，大多氣體質(zhì)量流量控制器可測(cè)控單一氣體，而易度層流壓差原理氣體質(zhì)量流量控制器同時(shí)可測(cè)控混合氣體。

選型時(shí)需要明確測(cè)控的氣體是哪種，確認(rèn)所選氣體質(zhì)量流量控制器是否可測(cè)控該氣體。如果是強(qiáng)腐蝕型氣體（如氯氣、氨氣等）、易爆型氣體（如氫氣、甲烷等），則需要選擇防腐蝕型或防爆型氣體質(zhì)量流量控制器。

2、壓力，是氣體質(zhì)量流量控制器選型時(shí)非常重要的一個(gè)參數(shù)，通常氣體質(zhì)量流量控制器可測(cè)控的氣體為低壓氣體，壓力在2MPa以下。

3、用戶選型氣體質(zhì)量流量控制器需要確定入口壓力、出口壓力和工作壓差，入口壓力是氣體流通進(jìn)入氣體質(zhì)量流量控制器前的壓力，出口壓力是氣體流出氣體質(zhì)量流量控制器后的壓力，工作壓差是入口壓力和出口壓力之差。選型注意要點(diǎn)是氣體質(zhì)量流量控制器最大工作壓力要大于入口壓力，工作壓差要在氣體質(zhì)量流量控制器可選的工作壓差范圍內(nèi)。

4、溫度，包含介質(zhì)溫度和環(huán)境溫度。用戶需要明確知道被測(cè)介質(zhì)的實(shí)際溫度和氣體質(zhì)量流量控制器所處的工作環(huán)境溫度。易度氣體質(zhì)量流量控制器的介質(zhì)溫度范圍為-50℃~110℃，環(huán)境溫度范圍為-40℃~50℃。

5、流量，即最小流量和最大流量。這個(gè)流量指的是標(biāo)況流量，也就是標(biāo)準(zhǔn)狀況下的流量，標(biāo)準(zhǔn)狀況指的是一定壓力（通常為一個(gè)大氣壓101.325kPa）和溫度（通常為0℃、15℃、20℃或25℃）下的工況。

6、確定流量范圍后，選型氣體質(zhì)量流量控制器的滿量程一定要大于或等于最大流量，測(cè)控范圍覆蓋最小流量和最大流量之間的范圍。通常講的多大流量的氣體質(zhì)量流量控制器，指的就是氣體質(zhì)量流量控制器的滿量程流量。

7、精度，即最大誤差。目前，氣體質(zhì)量流量控制器常見的精度為1.0%，更高的精度有0.5%，較差的有1.5%。但是，同樣1.0%精度，也有F.S.（滿量程精度）和S.P.（設(shè)定值精度）的區(qū)別，其中S.P.（設(shè)定值精度）更好。

8、選型氣體質(zhì)量流量控制器除了確定精度數(shù)值之外，也需要確認(rèn)需求是設(shè)定值精度或滿量程精度。另外，多數(shù)氣體質(zhì)量流量控制器在量程范圍內(nèi)，不同流量段精度不同，如氣體質(zhì)量流量控制器在1%~100%量程工作范圍內(nèi)，20%~100%量程區(qū)間精度為±1.0%S.P.，1%~20%量程區(qū)間精度為±0.2%F.S.。所以，選型氣體質(zhì)量流量控制器還需確認(rèn)精度保證范圍，以確保滿足實(shí)際需求。

9、重復(fù)性，即在相同的測(cè)量條件下，對(duì)同一被測(cè)控的量進(jìn)行連續(xù)多次測(cè)量所得結(jié)果之間的一致性。易度氣體質(zhì)量流量控制器可實(shí)現(xiàn)±0.2%F.S.重復(fù)性精度，高精型可實(shí)現(xiàn)±0.1%F.S.重復(fù)性精度。

10、通訊方式，即通過什么通訊信號(hào)來操作氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)控制流量的目的。通常通訊方式有模擬信號(hào)控制（如4-20mA、0-5V等）或數(shù)字信號(hào)控制（如RS485、Profibus等）。

11、易度氣體質(zhì)量流量控制器為了滿足高校實(shí)驗(yàn)室方便操作的需求，特別開發(fā)了觸摸屏操作的方式，可在面板上進(jìn)行流量設(shè)定、介質(zhì)切換等操作。

12、管路連接，即接口、連接方式和管徑，根據(jù)氣體管路的材質(zhì)、密封性、管徑等要求，有快插接頭、VCR接頭、卡套接頭和法蘭等。

13、安裝方式，大多氣體質(zhì)量流量控制器要求水平或豎直安裝，易度氣體質(zhì)量流量控制器可實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。

用戶確認(rèn)以上信息，基本可以完成常規(guī)氣體質(zhì)量流量控制器的選型。結(jié)合工況，如有特殊要求，如響應(yīng)速度、壓損、溫漂、壓漂等，可根據(jù)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品性能描述，與工程師進(jìn)行更深入的溝通。