最小流量：20SCCM 最大流量：500SLPM
EC100系列氣體層流質量流量控制器與SC100標準型氣體層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量和控制。
EC100A 通用型 | 20 SCCM ~ 500 SLPM
