最小流量：10 SCCM 最大流量：500 SLPM
E200氣體層流質(zhì)量流量計(jì)與在原有的M100系列做了產(chǎn)品的升級(jí)，通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時(shí)，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實(shí)現(xiàn)流量的精確測量。
E200A 通用型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200B 經(jīng)濟(jì)型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200C 耐腐蝕型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200D 半導(dǎo)體型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200E 半導(dǎo)體耐腐蝕型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200F 抗吸附型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200A 通用型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
