最小流量：0.01SCCM 最大流量：5000SLPM
E系列氣體層流質量流量計是M系列的升級款，體積更小，性能更強，特有的層流壓差技術，配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償，及獨創核心算法，使得產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點，模擬信號和數字信號的通訊方式，適用于配套過程控制的客戶。
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型 號 |
E100 |
E200 |
E300 |
E400 |
E450 |
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流量規格 |
20SCCM～500SLPM |
10SCCM～500SLPM |
0.5SCCM～5000SLPM |
2SCCM～2000SLPM |
2SCCM～2000SLPM |
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性能參數 |
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準 確 度 |
E100：±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) E200：±1.0%Rd(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.) E300：±1.0%Rd(20%～100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) E400：±1.0%Rd(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.) E450：±0.5%Rd(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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重復精度 |
E100、E200：±0.2%F.S. E300：±0.2%Rd(20%～100%F.S.) ±0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) E400、E500：±0.1%Rd(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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| 壓力漂移 |
E100、E200:≤±0.1%F.S./100kPa（基準壓力100kPaA) E300、E400、E450:≤±0.1%Rd/100kPa（基準壓力100kPaA)
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溫度漂移 |
E100、E200:≤±0.05%F.S./℃（基準溫度25℃） E300、E400、E450:≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） |
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工作范圍 |
E100：2%～100%F.S. E200：1%～100%F.S. E300、E400、E450：0.5%～100%F.S. |
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響應時間 |
≤100ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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介質溫度范圍 |
E100、E200：0℃～50℃ E300、E400、E450：-20℃～50℃ |
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| 環境溫度范圍 |
E100、E200：0℃～50℃ E300、E400、E450：-20℃～50℃ |
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使用濕度范圍 |
0%～98%（無冷凝） |
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| 滿量程壓損 |
10kPa（≤5SLPM）；60kPa（10SLPM）；8kPa（20~50SLPM）；10kPa（100SLPM）；15kPa（200SLPM）；
19kPa（500SLPM）；23kPa（1000SLPM）；22kPa（1500~2500SLPM）；35kPa（3000~5000SLPM） |
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
E100、E200：650KpaA E300、E400、E450：900KpaA |
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供電電壓 |
24V±20% |
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消耗電流 |
< 150mA（＜3.6W） |
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安裝方式 |
無指定（任意角度） |
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接氣部材質 |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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輸出方式 |
RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V |
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