最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM
SC200高精型氣體層流質量流量控制器向對控制精度有更高需求的客戶提供計量級的精度等級（±0.5%設定值精度），通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了更高性能。同時，內置4種標況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量。
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-SC202-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-SC202-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-SC202-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-SC202-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-SC202-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-SC202-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-SC220-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-SC220-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-SC220-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-SC220-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-SC220-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-SC220-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-SC250-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-SC250-02-1000 | 1000 SLPM
PIPG-SC250-02-1500 | 1500 SLPM
PIPG-SC250-02-2000 | 2000 SLPM
PIPG-SC250-02-3000 | 3000 SLPM
PIPG-SC250-02-4000 | 4000 SLPM
PIPG-SC250-02-5000 | 5000 SLPM
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
