最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
M系列氣體層流質量流量計與S系列的區別在于沒有觸摸式顯示屏，特有的層流壓差技術，配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償，及獨創核心算法，使得產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點，模擬信號和數字信號的通訊方式，適用于配套過程控制的客戶。
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型 號 |
PIPG-M101 PIPG-M201 |
PIPG-M102 PIPG-M202 |
PIPG-M120 PIPG-M220 |
PIPG-M150 PIPG-M250 |
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流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
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性能參數 |
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準 確 度 |
M100：±1.0%Rd（20%～100%量程范圍）或 ±0.2％F.S.（≤20%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程）
M200：±0.5%Rd（20%～100%量程范圍）或 ±0.1％F.S.（≤20%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程）
M100-WR：±1.0%Rd（10%～100%量程范圍）或 ±0.1％F.S.（≤10%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程） |
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重復精度 |
M100：±0.2%F.S.
M200：±0.1％F.S.
M100-WR：±0.2％F.S. |
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| 壓力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100kPa；Span：≤±0.2%F.S./100kPa（基準100kPa(絕壓)) | |||
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溫度漂移 |
Zero：≤±0.02%F.S./℃；Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） |
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工作范圍 |
1%～100%F.S.(最大可達120%F.S.) |
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響應時間 |
≤100ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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介質溫度范圍 |
-20℃～60℃ |
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| 環境溫度范圍 | -20℃～50℃ | |||
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使用濕度范圍 |
0%～98%（無冷凝） |
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| 滿量程壓損 | 4kPa | |||
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耐 壓 |
1.5MPa |
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工作壓力范圍 |
60kPa~1MPa |
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供電電壓 |
24V±20% |
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消耗電流 |
< 150mA（＜3W） |
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安裝方式 |
無指定（任意角度） |
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接氣部材質 |
SUS316L |
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輸出方式 |
標配：數字：RS485； 選配：PROFIBUS 模擬：0~5V/4～20mA |
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