最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
S200高精型氣體層流質(zhì)量流量計(jì)向?qū)扔懈咝枨蟮目蛻籼峁┯?jì)量級的精度（±0.5%讀數(shù)精度），通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了更高性能。同時(shí)，內(nèi)置4種標(biāo)況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力、標(biāo)況流量、工況流量、累計(jì)流量五大參數(shù)。
PIPG-S201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-S201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-S201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-S201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-S201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-S201-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-S202-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-S202-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-S202-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-S202-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-S202-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-S202-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-S220-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-S220-02-0010 | 10 SLPM
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