2023 / 07 / 25
對于氣體質量流量計來說，一般在銘牌上會標注可測量的氣體類型，但有時候需要這臺流量計測量其他種類的氣體，此時流量計輸出的流量值會怎么樣呢？
這個問題需要針對熱式流量計和層流壓差式流量計分別進行考慮。
我們來舉例說明。假如有一臺熱式氮氣流量計、一臺層流壓差式流量計（層流壓差式流量計可以設定氣體類型，這里我們也把工質設定為氮氣），用一臺氦氣流量控制器控制氦氣流量為100SLPM，把兩臺待測流量計串起來，這個時候他們的讀數會怎么樣呢？
先看熱式流量計，通入了不同的氣體時必須使用轉換系數，查詢某廠商某型號熱式流量計氮氣到氦氣的轉換系數約為1.4（不同品牌型號的熱式流量計轉換系數也不同），因此這臺熱式流量計的原始讀數應該是100÷1.4=71SLPM。
再看層流壓差式流量計，它通過氣體黏度來區分不同類型的氣體，根據哈根·泊肅葉定律，流量計算值與黏度成反比，此時通入氦氣但使用了氮氣的黏度值參與計算，查詢得知氦氣與氮氣的黏度比約為1.11，因此這臺層流壓差式流量計的原始讀數應該是100÷1.11=90SLPM。
可以看到這兩臺流量計雖然都是氮氣流量計，雖然通入的都是氦氣，但是數值上卻有很大的區別，這主要是由于測量原理不同造成的。
從上面的例子可以看出，如果要實現精確測量，通入流量計的氣體類型必須與流量計的工質類型一致。當然如果您使用層流壓差式流量計就可以很輕松地切換工質，達到一臺流量計精確測量多種類型氣體流量的目的。
