質量流量計
1、什么是質量流量計：
質量流量計，英文Mass Flow Meter（簡稱MFM），用來快速、精確測量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質量流量計主要應用于低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在1Mpa以下，最大可達3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等，要求相對干燥、純凈；混合氣體則需明確氣體種類和比例。

2、質量流量計可獲得哪些參數：

易度質量流量計可精確獲得氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五大參數。

3、質量流量計的單位：

一般為：SLPM（標況下升/分鐘）和SCCM(標況下毫升/分鐘），均為標況下的體積流量單位，易度標況定義為101.325KPa和25℃。

4、質量流量計的構成：

易度層流質量流量計主要由層流元件、壓差傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、電路設計、軟件算法六部分組成。

5、層流壓差式質量流量計的工作原理：

層流壓差原理，基于哈根泊肅葉定律設計的

在溫度、管徑等參數一定的情況下，氣體是層流狀態時，通過獲取層流元件兩端的壓差信號，計算出體積流量，然后通過溫度、壓力等參數的修正，獲得標準體積流量。

質量流量計結構示意圖：

6、質量流量計的通訊：

質量流量計可通過RS485、profibus等數字信號，0-5V 、4-20mA模擬信號或觸摸式顯示屏面板來進行介質切換、標況定義更改、參數顯示等操作。

質量流量控制器
1、什么是質量流量控制器：
質量流量控制器，英文Mass Flow Controller（簡稱MFC），用來快速、精確、穩定控制過程氣體的流量大小，是高端自動化設備中的氣路控制核心部件。質量流量控制器主要應用于控制低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在1Mpa以下，最大可達3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等，要求相對干燥、純凈；混合氣體則需明確氣體種類和比例。

2、質量流量控制器可控制哪些參數：

易度質量流量控制器可根據客戶工藝要求，控制氣體流量大小，該流量是標況下的體積流量，同時也可獲得氣體的實時溫度、壓力、工況流量、瞬時流量等關鍵參數。

3、質量流量控制器的單位：

一般為：SLPM（標況下升/分鐘）和SCCM(標況下毫升/分鐘），均為標況下的體積流量單位，易度標況定義為101.325KPa和25℃。

4、質量流量控制器的構成：

層流質量流量控制器主要由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調節閥、電路設計和軟件算法七部分組成。

5、質量流量控制器的工作原理：

層流質量流量控制器，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，并根據作為電信號發送的設定流量通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。

質量流量控制器結構示意圖：

6、質量流量控制器的通訊：

質量流量控制器可通過RS485、profibus等數字信號，0-5V 、4-20mA模擬信號或觸摸式顯示屏面板來進行流量設定、介質切換、標況定義更改、參數顯示等操作。