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    層流原理與熱式原理氣體質(zhì)量流量計(jì)與氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于哪些領(lǐng)域?
    守一
    2022 / 03 / 14

          這個(gè)問(wèn)題我想著重講一講。幾乎你能想到的所有高科技行業(yè)或高端制造業(yè),只要需要?dú)怏w精密測(cè)控的地方,都有它們的存在。由于篇幅有限,我先大致說(shuō)一下再舉幾個(gè)例子。這些我們生活中常常使用的產(chǎn)品都有他們的身影,例如手機(jī)、電腦、手環(huán)、AR/VR、電視、汽車(chē)、藥、啤酒、空調(diào)、手表、燃?xì)庠睢㈦姵亍⒅閷毷罪椀鹊取?br />       在生活中不常遇到的但是很高端、前沿的科技領(lǐng)域也有它們的用武之地。例如石墨烯生產(chǎn)、人造鉆石(鉆戒級(jí))、光導(dǎo)纖維、量子計(jì)算機(jī)、芯片制造、抗癌藥物與基因藥物、呼吸機(jī)與麻醉機(jī)、環(huán)境在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、大氣污染防治設(shè)備、電動(dòng)汽車(chē)、燃料電池、太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)等等。

          那這么多領(lǐng)域和產(chǎn)品中都有它們的身影,能否讓我們更具體一點(diǎn)了解下到底用在哪里?守一哥花了大量的功課時(shí)間,請(qǐng)教了大量的專業(yè)人士,先通過(guò)兩個(gè)例子,讓我們一窺究竟。我們以最常用,被戲稱為“人體器官”的手機(jī)來(lái)說(shuō)吧。先看手機(jī)的外殼,手機(jī)外殼一般都比較細(xì)膩光滑且耐磨硬度高,這個(gè)表面是如何做出來(lái)的?具體工藝過(guò)程很復(fù)雜這里就不贅述,但最關(guān)鍵的一道工藝需要在一種叫做真空鍍膜機(jī)的設(shè)備內(nèi)完成,是在真空環(huán)境下通入電離氣體和工藝氣體,利用電離后的等離子體與靶材撞擊,從微觀尺度上給我們手機(jī)殼鍍上了一層特殊的薄膜,正是這層保護(hù)膜使得我們的手機(jī)有了爽滑的質(zhì)感和耐磨的性能。而這個(gè)真空鍍膜機(jī)內(nèi)就大量配備了氣體質(zhì)量流量控制器,用于精細(xì)的控制進(jìn)入真空鍍膜機(jī)內(nèi)電離氣體和工藝氣體的量,大致流量在500SCCM。

                   

          手機(jī)殼的第二個(gè)重要功能就是防水,手機(jī)內(nèi)部有大量的電子元件,防水性能尤為重要。早期的手機(jī)防水性能都不是太好,一不小心就很容易進(jìn)水并損壞。隨著迭代進(jìn)步,目前的智能機(jī)已具有超強(qiáng)的防水性能。但怎么檢驗(yàn)防水性能是否達(dá)標(biāo)呢?需要更加強(qiáng)大的氣密性檢測(cè)儀,蘋(píng)果公司的iPhone手機(jī)等就大量使用了CTS公司的氣密性檢測(cè)儀用于防水性測(cè)試,它的靈敏度高,測(cè)試效率快。CTS公司使用的這種流量型-氣密性檢測(cè)儀是一種相對(duì)于壓力和壓差式檢漏儀更先進(jìn)的檢測(cè)方式,其中的核心元件就是微流量的氣體質(zhì)量流量計(jì)(如上原理圖所示),流量范圍在0.001ml/min(或SCCM)到2ml/min(或SCCM)。這種先進(jìn)的氣密性檢測(cè)儀國(guó)內(nèi)還沒(méi)有可靠的供應(yīng)商,幾乎被兩家美國(guó)公司壟斷,其核心原因之一就是全球范圍內(nèi)能生產(chǎn)這種高性能的微流量氣體質(zhì)量流量計(jì)寥寥無(wú)幾。

                

         iPhone8上市前,蘋(píng)果公司CEO庫(kù)克親赴美國(guó)俄亥俄州辛辛那提市CTS總部感謝他們的氣密性檢測(cè)儀,有力保證了蘋(píng)果公司的產(chǎn)品質(zhì)量,可足見(jiàn)其重要性!

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